Oled 제조용 박막 증착 시스템

Thin layers deposition system for manufacturing oled

Abstract

OLED 제조용 박막 증착 방법 및 그 시스템이 개시된다. 본 발명의 OLED 제조용 박막 증착 방법은, (a) 중력방향에 대해 일정각도 기울어진 기립 상태로 마스크를 챔버 내에 배치하는 단계; (b) 마스크에 대하여 기판을 얼라인하는 단계; 및 (c) 중력방향에 대해 일정각도 기울인 기립 상태의 마스크와 기판이 접촉된 때 마스크를 통하여 기판 상에 증착 물질을 제공하여 박막을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 중력방향에 대해 일정각도 기울어진 기립 상태의 마스크와 기판을 상호간 밀착 접촉시켜 증착 공정을 진행함으로써 증착 공정 중에 마스크와 기판 사이의 미세한 갭(gap)으로 유기물이 증착되는 것을 종래 보다 감소시켜 우수한 패턴을 형성할 수 있다.

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