기판의 오토 로딩 및 언로딩 장치

  • Inventors:
  • Assignees: (주)포인텍
  • Publication Date: December 06, 2012
  • Publication Number: KR-101209027-B1

Abstract

본 발명은 기판의 오토 로딩 및 언로딩 장치에 관한 것으로서, 특히 기판을 자동으로 이동시켜 불량율을 최소화하고 작업성과 생산성을 향상시킬 수 있는 기판의 오토 로딩 및 언로딩 장치에 관한 것이다. 본 발명의 기판의 오토 로딩 및 언로딩 장치는, 기판을 고정 안착시키는 클램프가 장착된 지그와; 상기 지그를 지지하면서 상기 클램프를 개폐하는 래칫유닛과; 새로운 기판을 공급하는 공급테이블과; 상기 지그에 안착되어 있는 상기 기판을 외부로 이송시키는 배출테이블과; 상기 기판을 이동시키는 다관절 로봇암과; 상기 로봇암 및 래칫유닛을 제어하는 제어부로 이루어지되, 상기 제어부는 상기 로봇암을 통해 상기 지그에 안착되어 있는 상기 기판을 상기 배출테이블로 이송시킨 후, 상기 공급테이블에 놓여 있는 새로운 기판을 상기 지그에 안착시키는 것을 특징으로 한다.

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