Acrylate ester derivatives and polymer comounds

아크릴산에스테르 유도체 및 고분자 화합물

Abstract

1) 산에 대한 반응성 및 열안정성이 우수하고, 또한 현상시의 팽윤이 작은 고분자 화합물, 2) 그 고분자 화합물의 원료가 되는 하기 화합물, 및 3) 그 고분자 화합물을 함유하는, LWR 이 개선되고, 내열성이 우수한 포토레지스트 조성물을 제공한다. (식 중, n 은 0 ∼ 2 의 정수를 나타내고, R 1 은 수소 원자, 메틸기 등을 나타내고, R 2 ∼ R 10 은 각각 독립적으로 수소 원자, 직사슬형 알킬기, 분기형 알킬기 등을 나타내고, A 및 B 는 각각 독립적으로 산소 원자 또는 황 원자를 나타낸다)

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